应用领域：

适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、钙钛矿太阳能电池、锂电池、有机膜等 , 用于镀制低熔点金属及合金材料薄膜，单 层 / 多层 / 复合膜，例：铜、镁、铝、金、银、钡、铋、锌、锑等；用于太阳能电池、LED 的研究和实验。用于有机材料等蒸发； 镀制非金属 / 化合物等材料薄膜等

基本配置：

◆真空腔室： D 型圆筒形，尺寸约 ф450×H450mm，前开门结构；采用铰链、铝制前门，手动，上下 2 个杠杆把手，胶圈密封， 腔体内表面采用电解抛光处理；外表面采用拉丝抛光，无擦伤及划痕。 

◆抽气系统：采用复合分子泵 + 直联旋片泵作为真空抽气系统； 主抽泵：分子泵抽速≥ 1200L/S，氮气压缩比≥ 109 ； 前级泵：VRD-30 机械泵及电磁阀，抽速：8L/S 主抽阀： CCQ-200 超高真空气动插板阀 

* 真空系统可以升级为进口分子泵和涡旋干泵。 

◆真空测量：数显复合真空计： “两低一高”全量程数显复合真空计； 

* 真空测量可以升级为进口全量程冷阴极真空计 

◆极限真空：<5×10-5Pa 

◆恢复真空：<6.7×10-4Pa(< 45 min) 

◆蒸发源（选配）： 金属蒸发源：4 组金属蒸发源在腔体底部呈发散形分布 , 相互间挡板隔开 , 避免交叉污染，兼容金属和有机材料蒸镀； 束 源 炉：4 组有机蒸发源，坩埚容量（2CC），角度 0-30 度可调，最高温度：700℃，控制精度 ±0.5℃； 

◆蒸发电源：采用恒压、恒流真空镀膜电源，功率 2.4Kw；电流调节精度 0.01A，电压调节精度 0.001V，数量：2 台 有机物蒸发电源：采用 10V30A 稳流电源，电流调节精度：0.01A，最小分辨率：0.1mV，0.1mA 数量：2 台 

◆样品台：可容纳样品最大尺寸：6 英寸样品托一个 , 配挡板，转速 0-30rpm 连续可调 ; 样品可加热控温，温度范围：室 温 -600℃，控温精度 ±0.5℃；( 可选带掩膜库系统样品台 ) 

◆膜厚监测仪：采用 Inficon SQM-160 速率 / 膜厚监测仪，配 1 个水冷探头。在线监测蒸发速率与达到膜厚关闭基片挡板。 

◆控制单元：15 英寸触摸屏 +PLC 控制

选择配置：

◆样品台可水冷，采用直接式水冷形式，水冷不控温 

◆可选薄膜镀层控制仪（SQC-310） 

◆可选进口蒸发电源 

◆全量程真空计 (Inficon) 

◆样品托 : 不锈钢、铝或铜，基片盘上有螺纹孔

系统要求标准配置：

◆工艺气体 :25psi，纯度 99.99% 以上 

◆工作气体 : 干燥压缩空气、氮气 

◆电 源 : 三相 380V, 50Hz, 32A 

◆冷 冻 水 :18-25℃ , 6L/min，压力 <0.4MPa