应用领域：

适合蒸镀对氧较敏感的金属膜（ 如 Al、Au、Ag、Cu 等），也可蒸镀各种氧化物材料。可实现对有机材料的蒸发镀膜，可满 足发光器件 如 OLED（有机发光二极管）。及有机太阳能电池方面的研究要求，是一款镀膜效果理想且性价较高的实验设备。 可镀制低熔点金属及合金材料薄膜，单层 / 多层 / 复合膜，（ Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Cr,Ni 等）；镀制非金属 / 化合物等 材料薄膜（ Mo03, LiF） 等；有机材料等蒸发；太阳能电池、LED 的研究和实验；描电镜制样等

基本配置：

◆真空腔室：350×400mm 不锈钢 D 形腔体。前门铰链方便真空室清理；腔室底板，顶部和侧面装有腔室内硬件接口；前 门上配直径 80 玻璃观察窗（含手动防污染挡板、可拆洗防污玻璃）；腔体可选择水冷。 

◆抽气系统： 采用复合分子泵 + 直联旋片泵作为真空抽气系统； 主抽泵：分子泵抽速≥ 600L/S，氮气压缩比≥ 109 ； 前级泵：VRD-24 机械泵及电磁阀，抽速：6L/S 主抽阀： CCQ-150 超高真空气动插板阀 

* 真空系统可以升级为进口分子泵和涡旋干泵。 

◆真空测量：数显复合真空计： “两低一高”全量程数显复合真空计； 

* 真空测量可以升级为进口全量程冷阴极真空计 

◆极限真空：<5×10-5Pa ◆恢复真空：<6.7×10-4Pa(< 45 min) ◆热蒸发 / 有机物蒸发源： 最多 4 组金属蒸发源，水冷电极和盒式防污染蒸发源；（可选配置） 最多 4 个有机束源炉，采用氧化铝或石英坩埚（2CC）（可选配置） 

◆蒸发电源：采用恒压、恒流真空镀膜电源，最大输出功率 2.4Kw； 电流调节精度 0.01A，电压调节精度 0.01V，数量：2 台 

◆样品台：可容纳样品最大尺寸：4 英寸样品托一个 , 配挡板，转速 0-30rpm 连续可调 ; 样品可加热控温， 温度范围：室温 -600℃，控温精度 ±0.5℃； 

◆系统控制：10 英寸触摸屏 +PLC 控制（可选手动按钮）

选择配置：

◆样品台可水冷，采用直接式水冷形式，水冷不控温 

◆速率 / 膜厚监测仪（SQM-160） 薄膜镀层控制仪（SQC-310） 

◆可选进口蒸发电源 ◆全量程真空计 (Inficon) 

◆样品托 : 不锈钢、铝或铜，基片盘上有螺纹孔。

系统要求标准配置：

◆工艺气体 :25psi，纯度 99.99% 以上 

◆工作气体 : 干燥压缩空气、氮气 

◆电 源 : 单相 220V, 50Hz,32A 

◆冷 冻 水 :18-25℃ , 3L/min，压力 <0.4MPa